1.真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-5
2.离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-7
3.测 量 误 差: <5%
4.测 量 分 辨 率: 10-5pa
5.允许环境温度: -20℃~50℃
6.空 气 湿 度: ≤80%RH
7.电 源: AC,220V,50Hz±10%
8.外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9.高 压 输 出: 脉冲≤30kV15kHz
⒑重 量: 8kg
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